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概要：
MT-30A系列质量流量计/控制器由质量流量传感器，
分流器通道，流量控制调节阀和放大控制电路等部
件组成。
本流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细
管壁温度分布的热传导分布效应尔制成
采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流
量，可以不受温度压力的影响，将传感器测得得流
量信号进行放大，然后与设定的电压值进行比较，
用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，闭环控制
流过通道的流量使之与设定的流量相等。
●标准
本公司产品采用中华人电子行业标准
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MT-30A |
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－ |
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－ |
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－ |
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型式 |
A |
模拟式 |
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B |
数字式 |
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功能 |
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M |
流量计 |
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C |
流量控制器 |
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流量范围 |
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ABC |
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气体种类 |
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013 |
N2 |
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008 |
Air |
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015 |
O2 |
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004 |
Ar |
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025 |
CO2 |
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001 |
He |
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FFF |
其他 |
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接头 |
1/4”VCR |
1 |
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1/2”VCR |
2 |
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3”SWL |
3 |
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6”SWL |
4 |
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其他 |
F |
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讯号 |
DC 0~5V |
1 |
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其他 |
2 |
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电源 |
DC+/-15V |
1 |
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SJ/T10583-94 以及SJ37 所规定的通用技术条 产品尺寸127×28×100mm
件和命名方法。
质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。 型号选型
质量流量的单位规定为：SCCM(标准毫升/分)
SLM(标准升/分)
标准状态规定为：温度--273.15K( 0℃ )
气压--101325pa(760mm Hg) F.S(Full Scale):满量程值
特点：
MT-30A系列可应用在5SCCM-30SLM的气体流量范围
并且不会受到温度及压力变化的影响，应用范围广
●模拟式质量流量计/控制器
·低单价 ·环境温度补正 ·可应用流量范围广
·0-5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
·0-1, 2 , 3 , 5 , 10, 20 , 30SLM
●高精度
·±1%F.S（≤15SLM） ·±2%F.S（＞15SLM）
●小体积
●可选用MT-1A流量显示仪或MT-1B流量积算仪配
套使用。
●输入，输出，供电
·输入设定电压…………0～+5.00V
·输出电压检测…………0～+5.00V
●基本参数
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功能 |
流量计/控制器 |
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基本型号 |
MT-30A |
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满量程流量范围(N2) |
SCCM |
0～5，10，20，30，50，100，200，500 |
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SLM |
0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 |
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精度(％F.S) |
±1(≤15SLM) |
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±2(＞15SLM.) |
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控制阀动作型式 |
常闭式 |
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线性(％F.S.) |
±0.5～1(≤15SLM) |
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±2％(＞15SLM.) |
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重复精度(％F.S.) |
±0.2 |
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响应时间(sec) |
≤1 |
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流量输出信号 |
0-+5.00V |
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流量设定信号 |
0-+5.00V |
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电器接头 |
DB15 pin(接头) |
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工作环境温度 |
(℃) |
5～45 |
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工作压差 |
(MPa) |
0.1～0.5 |
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漏率 |
SCCSHe |
1×10-9 |
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最大耐压 |
3MPa |
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介质接触材质 |
304，316，316L |
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密封材料 |
氟橡胶，硅橡胶，丁腈橡胶，聚四氟乙烯 |
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接头 |
VCR " 1/4、1/2 |
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Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm |
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接头和尺寸 |
Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm |
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电源要求 |
+15V,50mA;-15V,200mA |
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重量 |
0.75KG |
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